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等離子除膠機的具體使用方法

更新時間:2025-04-23      點擊次數(shù):494
  等離子除膠機是一種利用等離子體技術(shù)去除材料表面殘留膠層的設(shè)備,基本原理:通過產(chǎn)生高能量的等離子體(如氧、氬、氟等氣體的電離狀態(tài)),與膠層中的有機分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理轟擊,使膠層分解、揮發(fā)或剝離,從而實現(xiàn)無殘留的清潔效果。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、航空航天等領(lǐng)域。
  等離子除膠機的使用步驟:
  1. 開機前準備
  檢查設(shè)備狀態(tài):
  確認電源、氣路、真空系統(tǒng)連接正常。
  檢查電極、反應(yīng)腔是否清潔,無雜質(zhì)或殘留物。
  參數(shù)設(shè)置:
  根據(jù)膠層類型和材料特性,設(shè)置以下參數(shù):
  氣體類型:常用氧氣或氬氣,部分特殊膠層需氟化氣體。
  溫度:等離子處理可能產(chǎn)生熱量,需監(jiān)控樣品溫度(部分設(shè)備可水冷)。
  2. 裝載樣品
  固定樣品:
  將待除膠的樣品放入反應(yīng)腔內(nèi)的樣品架上,確保樣品與電極之間無直接接觸。
  避免樣品堆疊,保證等離子體均勻覆蓋。
  密封反應(yīng)腔:
  關(guān)閉反應(yīng)腔門,啟動真空系統(tǒng),抽至設(shè)定真空度。
  3. 啟動設(shè)備
  通氣:
  開啟氣瓶閥門,調(diào)節(jié)流量計至設(shè)定氣體流量。
  點火或激發(fā)等離子體:
  開啟射頻(RF)或直流(DC)電源,逐步增加功率至設(shè)定值。
  觀察等離子體是否穩(wěn)定形成。
  計時處理:
  根據(jù)預(yù)設(shè)時間進行等離子處理,期間可觀察樣品表面變化。
  4. 結(jié)束處理
  關(guān)閉電源:
  逐步降低射頻功率至0,關(guān)閉電源。
  停止通氣:
  關(guān)閉氣瓶閥門,斷開氣路。
  解除真空:
  緩慢充入惰性氣體或空氣,恢復(fù)常壓后打開反應(yīng)腔。
  取出樣品:
  檢查樣品表面是否完*除膠,必要時可二次處理。
  5. 后處理
  清潔反應(yīng)腔:
  定期清理反應(yīng)腔內(nèi)的殘留物,避免污染后續(xù)樣品。
  樣品冷卻:
  若處理過程中樣品溫度較高,可靜置冷卻或使用冷卻臺。
 

 

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